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四探針法和四端子法是什么?

更新時間:2024-04-11      瀏覽次數:404

NITTOSEIKO日東精工 (原 三菱化學)

表面電阻率測試儀


應用行業:用于液晶半導體、材料研究院等行業。


四點探針法是將四個針狀電極[圖3.3.2 四點探針]沿直線放置在樣品上,如圖[圖3.3.1 使用四點探針測量]所示。

在兩個外探針(A和D)之間流過恒定電流,測量兩個內探針(B和C)之間產生的電位差以求出電阻。


接下來,通過將獲得的電阻(R,單位:Ω)乘以樣品厚度t(cm)和校正因子RCF(電阻率校正因子)來計算體積電阻率。

這樣,四探針法和四探針法共用相同的測量系統,僅與樣品接觸的電極部分不同。


只需將四探針法的探針(四探針電極)壓在樣品上即可進行測量,與之前的四探針法相比,

無需在樣品上形成電極,大大提高了工作效率。

[表3.3 四探針法與四探針法的比較] 四探針法產生的電場圖像如[圖3.3.3 四探針探針產生的電場]所示。

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